文献法：一种古老、而又富有生命力的科学研究方法
文献研究法主要指搜集、鉴别、整理文献，并通过对文献的研究，形成对事实科学认识的方法。内容分析法通过对文献的定量分析，统计描述来实现对事实的科学认识。这两种方法有共同的对象，都不与文献中记载的人与事直接接触，因此，又称为非接触性研究方法。二者的区别是在分析的重点与分析的手段上有不同。1．文献研究的优点（1）无反应性。文献研究不会打扰研究对象，也不会对这些研究对象发生影响。（2）费用低，省钱省时。尽管进行一项文献分析，的费用会依所分析的文献的类型、文献散布的广度、获取文献方式的难易程度等方面的差别而有所不同，但是，一般来说，它比进行一项大规模调查、一项严格的实验、或一项深入的实地研究所需要的费用要少得多。（3）可以研究那些无法接触的研究对象。（4）适于作纵贯分析。由于调查、实验、观察等方法所研究的都是现时的情景，因而往往难于用来进行纵贯研究或趋势研究。文献研究在这方面则有着它特别的优势。随着时间的流逝，各个不同历史时期的社会现象和社会生活，或多或少总会以各种不同的文献形式记录和描述下来。（5）保险系数相对比较大。在内容分析中，弥补过失比起其他研究来就容易得多。你只需要对你所用的资料重新进行编码或进行统计处理，而不用一切都从头开始。2．文献研究的缺点（1）许多文献的质量往往难以保证。无论是个人的日记、信件，还是报纸上的各种报道文章直至官方的统计资料，都常常隐含着由个人的偏见、作者的主观意图以及形成文献过程中的客观限制所形成的各种偏误，从而影响到文献资料的准确性、全面性和客观性，影响到文献资料的质量。（2）有的资料是不易获得的。由于许多文献都不是公开的和可以随意获得的，因此对于某些特定的社会研究来说，往往很难得到足够的文献资料。（3）许多文献资料由于缺乏标准化的形式，因而难于编码和分析。（4）效度和信度存在一定的问题。
共同点:做法很类似,都主要是通过阅读;所需条件和环境类似,都是只需纸质书籍或电子书籍就行不同点:内容分析法:对象一般是固定的比如研究一本书拓展内容:文献研究法和内容分析法的区别 文献研究法主要指搜集、鉴别、整理文献,并通过对文献的研究,形成对事实科学认识的方法内容分析法通过对文献的定量分析,统计描述来实现对事实的科学认识这两种方法有共同的对象,都不与文献中记载的人与事直
优点第一，能用以研究不可能或不容易接近的研究对象。第二，文献的坦白程度高，真实性强。第三，文献研究过程简便易行且费用低。第四，研究结果可靠性大。缺点：（1）文献本身存在较多的不完善性，这主要表现在：第一，在许多用于教育研究的文献中，作者往往出于特殊目的和意图而夸大或掩盖了部分事实，使文献记载偏差。第二，选择性存留和破损。文献的保存常具有选择性，有些人如名人写的文献可以得到维护，而有些人写的文献则常常不易留存，因此现存的文献未必就是活动现象的全部。再加之文献由于是用纸张书写的，它们常常会有破损。第三，信息不完全许多尤其是日记、信件等个人文献，不是为研究目的而是为私人目的而写的，包含有一些研究者所不熟悉的关于某些事件的知识，这对于缺乏经验或缺乏有关事件知识的研究者来说，信息是不完全的。第四，限于言语行为，即文献提供的仅是关于一个回答者的言语行为，而不提供关于回答者非言语行为的直接信息。（2）文献收集困难。文献由于具有记载偏差、信息不完全和选择性存留、破损等局限，致使文献的收集存在困难。并且在许多情况下一些客观事件根本无信息记录，无文献可资利用。除此之外，许多文献由于种种原因而不能公开，难于收集。（3）抽样缺乏代表性。并不是所有人都能留下描述生活、思想、感情的文献资料，有些人的生活、思想、感情容易以文献资料留下来，而有些人的则很难，因此文献所反映的往往只是优势群体的生活、感情和思想观念，而很少反映劣势群体的生活、感情和思想观念，这实际上是一种抽样偏差，缺乏代表性。（4）文献的整理和编码困难。各种文献由于撰写目的不同，研究对象各异，内容千差万别，又缺乏标准化的形式，因而文献资料的分类整理和对比都十分困难。此外，文献一般是用文字而不是用数字记载的，难以使之数量化。
1、资料收集方式不同，质性研究常用访谈、观察等方式收集，定量研究多用量表、测验、调查、问卷等方式。2、数据分析模式不同，质性研究由研究者本人分析，相对来说不太科学，定量研究采用统计方法进行，结果较为科学严谨。3、设计特点不同，质性研究设计经常需要灵活、即兴，定量研究较为固定、结构化。4、抽样方法不同，质性研究样本选择常常是随机的、目的性强的，并且样本量较小，定量研究要求样本量大、随机性强。名词解释它是确定事物本质属性的科学研究，科学研究的基本步骤和基本方法之一。它是通过观测、实验和分析等,来考察研究对象是否具有这种或那种属性或特征,以及它们之间是否有关系等。由于它只要求对研究对象的性质做出回答，故称定性研究。研究者运用历史回顾、文献分析、访问、观察、参与经验等方法获得处于自然情境中的资料，并用非量化的手段对其进行分析、获得研究结论的方法。定性研究更强调意义、经验（通常是口头描述）、描述等。
就是对政治方面进行研究所写的论文
关键词或主题词的一般选择方法是由作者在完成论文写作后，纵观全文，先出能表示论文主要内容的信息或词汇，这些住处或词江，可以从论文标题中去找和选，也可以从论文内容中去找和选。例如上例，关键词选用了6个，其中前三个就是从论文标题中选出的，而后三个却是从论文内容中选取出来的。后三个关键词的选取，补充了论文标题所未能表示出的主要内容信息，也提高了所涉及的概念深度。需要选出，与从标题中选出的关键词一道，组成该论文的关键词组。关键词与主题词的运用，主要是为了适应计算机检索的需要，以及适应国际计算机联机检索的需要。一个刊物增加“关键词”这一项，就为该刊物提高“引用率”、增加“知名度”开辟了一个新的途径。
这个论文的话可能就是说明你在郑州方面的那个研究论文。
1997年下半年，始发于泰国的东南亚金融危机，给全球经济带来了巨大冲击，全球贸易和经济增长明显减慢，中国经济也受到了严重影响。在当时严峻而复杂的国内国际经济环境下，中国政府审时度势，果断地调整了宏观调控策略，实行了积极财政政策和稳健货币政策。 一、对我国积极财政政策理念长期化的隐忧 由于我国目前的市场态势，总体上已由“经济短缺”过渡到“经济过剩”，“经济过剩”有可能成为我国今后经济运行中的一种“常态”。对此问题的关注，实际上反映了大家对我国近几年大规模财政赤字及政府偿债能力的担忧。 首先，“扩张性”财政政策（即积极的财政政策）的实施，从短期看，的确能促进经济的增长，这一点是没有任何疑义的。但是，不管哪个国家，“扩张性”财政政策的实施，最终都要受到国家财政能力的制约，没有足够的财力做后盾，长期的“扩张性”财政政策是难以支撑的。虽然从1999年我国的国债负担率和居民应债能力两个指标来看，我国的国债余额占GDP的比重为12．93％（国际公认的安全警戒线为60％左右），国债余额占居民储蓄余额的比重为17．60％（国际公认的警戒线为30％左右），说明我国国债的发行仍有较大的余地；但从国债偿还率指标来看，我国1999年国债还本付息额占当年财政收入的比重达16．8％（国际公认的安全警戒线为10％左右），已大大超过了国际公认的安全警戒线。再从债务依存度看，这一指标逐年增加，居高不下，全国债务依存度1999年达30．6％（国际公认的安全警戒线为20％左右），而中央债务依存度更是高达98％（国际公认的安全警戒线为30％左右），都远远地高于国际公认的控制标准。1998年以来，整个国家财政有1／4的支出、中央财政有1／2的支出依靠发行国债来维持，这充分显示出我国财政的脆弱性，必将对我国未来的财政安全构成巨大的潜在风险。尽管我国目前的国债负担率和居民应债能力两个指标距国际警戒线较远，但实际上我国的财政债务与成熟的市场经济国家的财政债务并没有现实可比性。因为西方的财政债务一般都等于公共部门债务，而我国的财政债务一般小于公共部门的债务。造成这种差别的原因，主要来自于以下三个项目：一是准国债项目；二是国有银行体系不良资产中的潜在损失；三是隐性养老金债务。显然，如果只单纯计算国家的财政债务，而不把以上三个项目考虑在内，就自然会低估政府债务规模；反之，如果把以上三个项目计算在内，则公共部门的债务规模就会大大增大。在我国，由于社会性质决定了政府财政是所有公共部门债务的实际最后承担者，所以，我国的公共部门的债务规模要远远高于财政债务规模。据有的学者估算，1999年我国公共部门的实际债务已超过当年GDP的50％，已接近甚至超过了国际公认的警戒线。 其次，“扩张性”财政政策实施的结果，即加大财政赤字。财政赤字不仅仅是个经济问题，也是一个政治问题。从理论上讲，只要经济不断增长，人民生活水平不断提高，公众保持良好的信心，一定的财政赤字规模（由此导致的国债规模）就是可以承受的，也不会导致什么财政风险，即随着赤字与债务的继续增加，到未来的某一天，政府既无法用财政结余来弥补赤字，又不能通过借新债来换旧债和弥补赤字，且又得不到国际上的有力援助。那么，政府只有两个选择：一是多印发钞票；二是宣布废除旧的债务。前者意味着恶性通货膨胀，后者意味着国家信用的破产，这两者都意味着经济或政权的崩溃。本人认为，由于积极财政政策的实施，本来是在萧条时期应该暴露出来的问题，如经济结构问题，地区发展不平衡问题，收入差距问题，银行的不良资产问题等，在财政赤字对经济增长的刺激下，被暂时地掩盖起来，一旦财政赤字政策对经济增长的刺激作用减弱，这些问题就又会重新暴露出来，对经济增长形成障碍，应引起足够重视。 再次，政府债务筹资，也需要支付成本。就政府债务而言，其成本就是债务利息。一般来讲，债务筹资成本是与政府的信誉成反比。但是，即使信誉再高的政府也不能做到一味地以低利率在国内外无限量地借款。在一般情况下，债台高筑的政府信誉级别与其债务规模成反方向变动，而政府的债务风险却又随债务规模的扩大、信誉级别的下降而增加，如俄罗斯财政与金融危机爆发的原因就在于此。 最后，“扩张性”财政政策的实施，最终要靠政府机构来运作，并与行政行为结合在一起，这在执行过程中必然要带有浓重的行政色彩，容易导致计划经济体制的复归，弱化市场机制配置资源的基础作用和效率。由于我国目前的产权改革一直没有真正到位，没有建立起真正有效的法人财产主体，所以，在“扩张性”财政政策实施的过程中，投资决策失误、效率低、效益差的局面不可能得到根本性改变。加上缺乏有效的监督与约束机制，公共投资被贪污、被侵占、被挪用和大量流失现象也不可能得到根本性的扭转，这都必然会严重影响到财政支出的实际效果。 目前，处于转型期的中国经济，总量矛盾与结构矛盾是相互交织、相伴而生的，采取简单的总量扩张政策是难以解决有效需求不足问题的。日本在上世纪80年代后期开始，采取扩张的财政政策和货币政策，但经济却始终启而不发，关键在于日本未能将结构调整政策有效地结合于总量扩张政策之中，未能形成新的经济增长点。因此，目前情况下，我们不能一味地依赖扩大财政赤字与大规模发行国债来刺激经济增长，财政支出的增加，必须建立在财政收入可靠增长的基础之上，同时注意解决如下几个方面的问题： 第一，积极财政政策的完善应该从转变政府投资方式入手。积极财政政策的重点，应该从财政投资这种直接手段转向利用财政投融资、财政贴息等间接手段，使政府投资成为杠杆，有效地带动社会投资。具体包括：（1）改变财政投融资方式，逐步建立起适合中国国情的财政投融资制度，以便从制度上解决财政投资需求与投资供给之间的矛盾。（2）采取多种手段吸纳社会资金。运用财政贴息、财政参股、财政担保等手段吸纳社会资金，尤其是民营企业参与社会基础设施、高新技术产业和房地产开发等领域，从而产生“四两拨千斤”的功效。值得进一步指出的是，民间投资的增长对于经济发展具有重要作用。近几年来，在积极财政政策的带动下，全社会固定资产投资增幅较快，但如果民间投资增长缓慢，则会影响市场在资源配置中的基础性作用。因此，除了实施积极财政政策之外，还应全面落实引导扩大民间投资的政策，如落实准入政策、降低准入门槛，在税收上切实实行国民待遇，防止税负不公、双重征税等歧视性措施。要加强金融支持，拓宽中小企业的直接和间接融资渠道，加强法律保障和服务机构。 第二，运用公共支出政策，刺激国内需求增长。根据我国目前实际情况，充分利用有利条件，适当多增加一些公共支出，主要用于基础设施建设、环境治理等投资风险小、既有经济效益又有社会效益的项目。这样做，不仅可以改善经济发展的环境条件，在一定程度上消除长期以来制约经济增长的不利因素，而且也有助于创造更多的就业机会，缓解就业压力，增加城乡居民消费。 第三，调整收入分配关系，启动最终消费。在这方面，一是要从调整体制内人员的收入水平入手，以处于类似于我国发展阶段的国家其国内体制外的工资水平为参照系，结合我国社会保障制度货币化的政策，调整体制内人员的工资待遇。二是要通过改革，认真落实对企业和农民的减负政策，为提高职工和农民收入水平与购买力创造有利条件。三是要适当增加转移性支出的比重，加大国家财政对建立和完善社会保障制度的支持力度，对住房、医疗、教育和就业制度等需要财政支持的改革，要制定反周期的操作。要力求减轻居民支出中的改革费用负担，稳定居民的支出预期。 第四，应充分注意政策的适时调整和渐进转换。主要是通过市场和消费替代、民间和企业投资替代、出口需求替代，为积极财政政策的逐步“淡出”和转型创造条件。与此同时，还应该加大财政政策引导结构调整的力度，增强经济发展后劲，形成一整套带动产业调整和不断升级的创新机制；建立规范化的政府间转移支付制度，提高中央财政的宏观调控能力，为促进区域经济的协调发展创造条件；优化税制结构，规范税费关系，使税制本身对经济景气产生有效的调节作用，同时，也增强政府的调控能力
2008年财政政策对不同企业影响的实证分析———以江苏南通为例黄宏彬张娟2008年宏观经济政策以“组合拳”形式出现，对不同的市场主体构成的影响肯定不同。企业是市场的一个重要主体，宏观调控的措施会直接影响企业，企业也会因为外部环境政策变化而改变策略。本文拟以江苏南通为例，分析宏观调控当中的财政政策对企业的影响，并在此基础出上提出对策措施。一、财政政策对企业影响的理论分析（一）财政政策的内涵。财政政策是以特定的财政理论为依据，运用税收、国债、公共支出、政府投资、财政补贴等财政工具，为达到一定的财政目标而采取的财政系列措施；是一国为实现一定时期的任务，在处理财政方面经济关系的最根本原则，也是政府机构制定财政工作的指导方针。财政政策是国家宏观调控的一个重要工具，是具体化的财政措施。如果能正确运用财政政策，就能促进经济持续稳定健康发展。财政政策的目标一般是为了优化经济结构、合理分配国民收入、保持社会总供给总需求均衡、逐步提高人民生活水平和综合国力，促进经济增长和社会进步。财政政策的效果表现在财政政策对社会经济活动产生的有效作用以及在财政政策有效作用下社会经济做出的反应。（二）2008年对企业有影响的财政政策。在2007年底召开的全国财政工作会议上，财政部负责人表示，2008年将继续实施稳健的财政政策，进一步发挥财政的宏观调控作用，并加强与货币政策的协调配合，保持经济平稳较快发展的好势头，努力防止经济增长由偏快转为过热，防止价格由结构性上涨演变为明显通货膨胀。2008年财政政策总结成“控制赤字、调整结构、推进改革、增收节支”十六个字，政策核心是松紧适度、着力协调、放眼长远。与本文企业相关的财政政策有三项，一是出口退税、关税等相关政策。为了抑制高耗能、高污染、资源性产品出口，支持高附加值产品出口，鼓励资源性、节能降耗、关键零部件等产品进口，对节能环保的进口实施税收优惠政策；企业创新性对外投资与合作以及在研发、生产、销售等方面开展的国际化经营等，其部分商品的出口退税、关税和加工贸易等政策进一步完善。二是综合运用税收、预算、国债、贴息、转移支付、政府采购等多种工具，注重与货币政策、产业政策等协调配合，安排资金大力支持节能减排、生态建设和环境保护，着力推进经济结构调整和发展方式转变。三是内外资企业所得税并轨，《企业所得税法》已于2008年1月1日起施行。（三）2008年财政政策对企业的影响。这些宏观财政政策必然会对企业产生影响，但不同企业所受到的影响不同。“两高一剩”企业前景暗淡。所谓“两高一剩”，是指高耗能、高污染及产能过剩的企业。该类企业近几年因为效益较好，利润较高，因而整个行业发展很快。但由于其本身能耗比较高、污染比较重，整个社会的总需求小于总供给等特点，决定其不符合科学发展观的要求，不利于国民经济健康发展和国家的根本利益，是宏观调控的重点对象。2008年出台的产业政策、环保政策对这些行业明确限制。新的所得税法对环保类企业进行倾斜，使非环保企业面临较大压力，原有的区域优惠政策被产业优惠政策取代。那些技术含量低、规模小、实力弱、污染重的企业将在各种政策的挤压下逐渐淡出市场。外贸及出口加工型企业利润变薄。部分外贸及出口加【摘要】2008年的财政政策与货币政策对南通的企业影响较大，具体表现不一致。置身于国民经济不同行业的企业，必须学会在宏观调控下生存和发展，根据宏观经济的走向和变化，及时调整自己的经营策略，规避风险，捕捉机遇，获取收益。
第一、研究课题的基础工作——搜集资料。考生可以从查阅图书馆、资料室的资料，做实地调查研究、实验与观察等三个方面来搜集资料。搜集资料越具体、细致越好，最好把想要搜集资料的文献目录、详细计划都列出来。首先，查阅资料时要熟悉、掌握图书分类法，要善于利用书目、索引，要熟练地使用其他工具书，如年鉴、文摘、表册、数字等。其次，做实地调查研究，调查研究能获得最真实可靠、最丰富的第一手资料，调查研究时要做到目的明确、对象明确、内容明确。调查的方法有：普遍调查、重点调查、典型调查、抽样调查。调查的方式有：开会、访问、问卷。最后，关于实验与观察。实验与观察是搜集科学资料数据、获得感性知识的基本途径，是形成、产生、发展和检验科学理论的实践基础，本方法在理工科、医类等专业研究中较为常用，运用本方法时要认真全面记录。第二、研究课题的重点工作——研究资料。考生要对所搜集到手的资料进行全面浏览，并对不同资料采用不同的阅读方法，如阅读、选读、研读。第三、研究课题的核心工作――明确论点和选定材料。在研究资料的基础上，考生提出自己的观点和见解，根据选题，确立基本论点和分论点。提出自己的观点要突出新创见，创新是灵魂，不能只是重复前人或人云亦云。同时，还要防止贪大求全的倾向，生怕不完整，大段地复述已有的知识，那就体现不出自己研究的特色和成果了。第四、研究课题的关键工作――执笔撰写。下笔时要对以下两个方面加以注意：拟定提纲和基本格式。第五、研究课题的保障工作――修改定稿。通过这一环节，可以看出写作意图是否表达清楚，基本论点和分论点是否准确、明确，材料用得是否恰当、有说服力，材料的安排与论证是否有逻辑效果，大小段落的结构是否完整、衔接自然，句子词语是否正确妥当，文章是否合乎规范。
论文文献综述怎么写
文献综述是对论文选题研究现状的梳理，但并不仅仅是把文献进行简单的堆砌与罗列，而是需要在总结梳理别人研究的同时，对已有的研究做出评价，也就是说有述有评，这也是为什么文献综述也叫做文献述评的原因。
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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文献综述是对论文选题研究现状的梳理，但并不仅仅是把文献进行简单的堆砌与罗列，而是需要在总结梳理别人研究的同时，对已有的研究做出评价，也就是说有述有评，这也是为什么文献综述也叫做文献述评的原因。