电工电子技术参考文献

崔铮，东南大学（原南京工学院）本科毕业（1981），并获该校硕士（1984）和博士（1988）学位。1989年受英国国家科学与工程研究委员会访问研究基金资助，到英国剑桥大学微电子研究中心做博士后研究。1993年到英国卢瑟福国家实验室微结构中心做高级研究员，1999年以来任微纳米技术首席科学家，曾任微系统技术中心负责人，现负责微纳米技术的工程应用。十多年来先后参加了8项欧洲共同体联合研究项目，并担任其中两个项目的主持人。任欧洲微机电/微光机电设计、测试、集成与封装年会的程序委员会委员，国际微纳光刻、微机电与微光机电系统杂志编委，欧洲第七框架研究计划纳米技术分计划的评审专家，英国国家科研项目评审专家，并应邀为多种学术杂志评审论文；英国物理学会会员，英国工程技术学会（IET）资深会员。1994．年以来开始与国内开展合作，先后受聘为国内多家科研单位与大学的客座研究员、客座教授。先后4次受王宽诚科研奖金资助回国进行合作研究与讲学。2001年以来，先后主持了两项由英国皇家学会资助的中一英联合研究项目。2002年受聘为中国科学院海外评审专家。2004年获中国科学院海外杰出学者（B类）基金。2007年参加中国科学院物理研究所纳米电子材料与器件海外合作团队。 图书目录 1 微纳米技术与微纳米加工技术2 微纳米加工技术的分类3 本书的内容与结构参考文献 1 引言2 光学曝光方式与原理1 掩模对准式曝光2 投影式曝光3 光学曝光的工艺过程4 光刻胶的特性1 光刻胶的一般特性2 正型胶与负型胶的比较3 化学放大胶4 特殊光刻胶5 光学掩模的设计与制作6 短波长曝光技术1 深紫外曝光技术2 极紫外曝光技术3 x射线曝光技术7 大数值孔径与浸没式曝光技术8 光学曝光分辨率增强技术1 离轴照明技术2 空间滤波技术3 移相掩模技术4 光学邻近效应校正技术5 面向制造的掩模设计技术6 光刻胶及其工艺技术7 二重曝光与加工技术9 光学曝光的计算机模拟技术1 部分相干光成像理论2 计算机模拟软件c0MPARE3 光学曝光质量的比较10 其他光学曝光技术1 近场光学曝光技术2 干涉曝光技术3 无掩模光学曝光技术4 激光三维微成型技术5 灰度曝光技术11 厚胶曝光技术1 传统光刻胶2 SU一8光刻胶12 LIGA技术1 用于LIGA的x射线光源2 x射线UIGA掩模3 用于x射线LIGA的厚胶及其工艺4 影响x射线uGA图形精度的因素参考文献 1 引言2 电子光学原理1 电子透镜2 电子枪3 电子光学像差3 电子束曝光系统4 电子束曝光图形的设计与数据格式1 设计中的注意事项2 中间数据格式3 AutoCAD数据格式4 机器数据格式5 电子束在固体材料中的散射6 电子束曝光的邻近效应及其校正7 低能电子束曝光8 电子束抗蚀剂及其工艺1 高分辨率电子束抗蚀剂2 化学放大抗蚀剂3 特殊显影工艺4 多层抗蚀剂工艺9 电子束曝光的极限分辨率10 电子束曝光的计算机模拟11 特殊电子束曝光技术1 变形束曝光2 电子束投影曝光3 多电子束曝光4 微光柱系统曝光参考文献 1 引言2 液态金属离子源3 聚焦离子束系统4 离子在固体材料中的散射5 聚焦离子束加工原理1 离子溅射2 离子束辅助沉积6 聚焦离子束加工技术的应用1 审查与修改集成电路芯片2 修复光学掩模缺陷3 制作透射电镜样品4 多用途微切割工具7 聚焦离子束曝光技术8 聚焦离子束注入技术参考文献 1 引言2 扫描探针显微镜原理3 抗蚀剂曝光加工1 STM曝光2 NSOM曝光4 局部氧化加工5 添加式纳米加工1 扫捕探针场致沉积2 扫描探针点墨法光刻6 抽减式纳米加工1 电化学刻蚀加工2 场致分解加工3 热力压痕法加工4 机械划痕法加工7 高产出率扫描探针加工参考文献 1 引言2 热压纳米压印技术1 热压纳米压印的印模2 热压纳米压印材料3 热压纳米压印的脱模4 热压纳米压印的对准3 室温纳米压印技术4 紫外光固化纳米压印技术1 透明印模2 紫外固化压印材料3 步进闪光压印光刻技术4 透明印模压印的对准5 曝光—压印混合光刻5 反向纳米压印技术6 软光刻技术1 软光刻的印章2 微接触印刷3 毛细管力辅助注模7 塑料微成型技术1 热压成型2 微注塑成型3 浇铸成型参考文献 1 引言2 薄膜沉积技术3 溶脱剥离法4 电镀法5 嵌入法6 模版法7 喷墨打印法参考文献 1 引言2 化学湿法腐蚀技术1 硅的各向异性腐蚀2 硅的各向同性腐蚀3 二氧化硅的各向同性腐蚀3 干法刻蚀之一：反应离子刻蚀1 反应离子刻蚀的原理2 反应离子刻蚀的工艺参数4 干法刻蚀之二：反应离子深刻蚀1 电感耦合等离子体刻蚀系统2 Bosch工艺3 纳米结构的深刻蚀4 反应离子深刻蚀中存在的问题5 干法刻蚀之三：等离子体刻蚀6 干法刻蚀之四：离子溅射刻蚀7 干法刻蚀之五：反应气体刻蚀8 干法刻蚀之六：其他物理刻蚀技术1 激光微加工技术2 电火花微加工技术3 喷粉微加工技术参考文献 1 引言2 侧壁沉积法3 横向抽减法4 横向添加法5 垂直抽减法6 纳米球阵列法7 多步加工法8 超级分辨率法参考文献 1 引言2 自组装过程1 分子自组装2 纳米粒子自组装3 可控自组装1 表面形貌导向2 表面能量导向3 静电力导向4 磁力导向4 纳米系统的基本建筑单元1 DNA构架2 碳纳米管3 嵌段共聚物4 多孔氧化铝参考文献 1 引言2 超大规模集成电路技术3 纳米电子技术4 光电子技术5 高密度磁存储技术6 微机电系统技术7 生物芯片技术8 纳米技术参考文献索引结束语

1]电力电子技术[M]4版北京：机械工业出版社，2000