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交通工程文献怎么写

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交通工程文献怎么写

论文参考文献,就是你所写的论文中引用的其他资料中的内容,如数据、概念及别人的研究成果等。不能随便写,是要写出准确出处的。 参考文献的编写格式要求。 一、参考文献著录格式 1 、期刊作者.题名〔J〕.刊名,出版年,卷(期)∶起止页码 2、 专著作者.书名〔M〕.版本(第一版不著录).出版地∶出版者,出版年∶起止页码 3、 论文集作者.题名〔C〕.编者.论文集名,出版地∶出版者,出版年∶起止页码 4 、学位论文作者.题名〔D〕.保存地点.保存单位.年份 5 、专利文献题名〔P〕.国别.专利文献种类.专利号.出版日期 6、 标准编号.标准名称〔S〕 7、 报纸作者.题名〔N〕.报纸名.出版日期(版次) 8 、报告作者.题名〔R〕.保存地点.年份 9 、电子文献作者.题名〔电子文献及载体类型标识〕.文献出处,日期 二、文献类型及其标识 1、根据GB3469 规定,各类常用文献标识如下: ①期刊〔J〕 ②专著〔M〕 ③论文集〔C〕 ④学位论文〔D〕 ⑤专利〔P〕 ⑥标准〔S〕 ⑦报纸〔N〕 ⑧技术报告〔R〕 2、电子文献载体类型用双字母标识,具体如下: ①磁带〔MT〕 ②磁盘〔DK〕 ③光盘〔CD〕 ④联机网络〔OL〕 3、电子文献载体类型的参考文献类型标识方法为:〔文献类型标识/载体类型标识〕。例如: ①联机网上数据库〔DB/OL〕 ②磁带数据库〔DB/MT〕 ③光盘图书〔M/CD〕 ④磁盘软件〔CP/DK〕 ⑤网上期刊〔J/OL〕 ⑥网上电子公告〔EB/OL〕

为什么说交通工程专业是中国最好的专业之一为什么说交通工程专业是最好最有前途的专业之一?“交通工程专业是一门发展中的学科,在我国还需要完善和发展”几乎所有的交通工程教科书中都那么写,中国交通工程的年龄才满三十岁,西方的研究已经达到了八十年。不过正因为这样,处在壮年的中国交通工程专业才更有潜力和发展前途。很多热门的专业都在鼓吹自己的专业很有前途,很多同学也错误地认为热门的专业就有前途,这是极不理智的说法。还有报志愿可不是报考接近自己分数的就好,而是需要看社会的发展和自己的兴趣。专业类(如数学、物理、化学(医药类)、生物等) 同学们千万不能因为自己高中的喜爱或者自己的擅长而报了很专业的学科。冲动过后会有惩罚,这些学科不但在进入后会极度的难学难懂,而且这些专业学科已经达到了一种“智力饱和”期,在这些科目的发展和进步已经极难极难,诚然有一些天之骄子能获得突破,进入科学的高层,名利双收,但是那种程度的智力的需求确实极高,9%的我们是不敢冒险的。化学和生物虽然有前途的多一点,单是该发明的药物和基因已经超多了,剩下的进步只有撞运气一般的实验又实验。热门专业(土木工程、信息工程、学医、金融会计类等) 土木工程已经是中国最热的专业之一里,他们这样描述自己的专业:“中国在发展房地产!修房子啊,学了有钱途。”不说美国房产次贷危机,但是同学们们不知道是中国竟然有超过两百所的大学(这只是表面上的,你百度一下就知道真实的有多少)有土木工程专业,被国家认证却只有二十多所,而且分数线都超过一本线很多,葬送了多少一本的学生?!土木工程专业已经人满为患,虽然还有需求,但是一所建筑大公司每年都裁人么? 信息工程还在我小的时候就算热门专业了,我高中时候学校招聘2名电脑老师,竟然来了一百多人,其中不乏名牌大学的学生,如今网络浩瀚如海,电脑技术普及到家,什么都是免费软件,唉。。。学信息的可怜人就不多说了。 学医,挺害怕,残忍地杀害小动物,最主要的是得把有几本大大的教科书背得。医大的老师这样告诉学生:“学医的就是准备好五年高考的!”如果艰苦后能有一个明天还是好的,在我还是高三的时候,就听权威专家说:“中国未来五年内绝对会一直缺医生!!”不知道你们听到的还是五年么? 呵呵 学医就得五年啊。不过没有关系,大城市里的医院可不会要一个毕业生,不过可以去社区医院拿一些微薄的工资,当然祖国西部大开发,西部的小县城里还是紧缺医生的。 金融你去打听下中国大学生学什么的最多?文科生喜欢读金融类理科生也喜欢,大家都觉得金融金融跟钱打交道啊,对! 金融学习出来后的人大多在干什么?不是某家银行里当小职员,就是在某家小企业当小会计,大公司?开玩笑吧,谁会拿几百几千万给个小毛孩管理。 汽车工程,机械自动化等专业感觉还是挺好吧,不过你知道中国的汽车竞争多激烈,自己设计出来汽车?这个已经不是小学时候的画画比赛了。虽然汽车设计很赚钱,但你得明白中国有多少人正在画画设计。有的时候专业上去了,却得和大专啊三本比创造力。 法律的话你肯定准备考公务员了。当你知道事实你绝对会很伤心,公务员是考试,但是有多少大专,中专竟然直接开设得有公务员速成班,当做正规课程来上,不知道自学的名牌学子能比的过么?有自信,也好,自己可以咨询下一个县级公务员的位子会有多少人去报考,而且其中有多少有内幕。 自己参考啦,不要随便听爸爸妈妈的话了哦,在爸爸妈妈在社会上在自己的位置,有的时候感觉还没有我在学校里面见识的多 我都伤心了。现在来继续吹嘘我的交通工程专业吧~ 呵呵交通工程是研究人、车、路、环境四者之间的联系,寻找它们间的规律,建立交通规划、设计、控制和管理的理论和方法以及有关的设施、装备、法律和法规等,使道路交通更加安全、高效、快捷、舒适的一门技术科学。交通工程与运输工程学、道路工程学、汽车工程学电子工程学、工效学(曾译为人机工程学)、心理学、经济学、自然科学和社会科学等有密切联系。 交通工程学习以后主要有两个方面的作用:城市交通 几乎所有城市的汽车都在增多吧,就连我家那个小县城都经常堵车。繁重的交通让城市苦不堪言。为什么国外车比我们多却没有我们那么杂乱的交通呢?主要是两点,一是道路规划不合理,设施设备落后;二是管理方法落后(有兴趣同学可以百度一下“ITS”),我们交通就是整这个的,规划城市交通。修路有时也修桥(这样说感觉好土,不过立交桥什么的也能修),设计建立路网 看看美国大片和自己坐汽车上高速路就知道其中的差别了吧,其实我们的路也分等级,人家美国是ABCDEF级,我们中国只有1234级。所以还有发展前途啊。不过有一个和交通工程很像的专业,就是道桥工程(有的叫道路桥梁与渡河工程),他们修路也修桥,我们也是,区别在哪里呢?他们所学的所有科目我们交通都学,只是没有那么精,不过我们学的好多,他们可不学,这就是最大区别了,我们多学的部分就让我们知道优化路网了。交通工程专业是最有前途的一个专业之一,可是大多都是二本的分数线,甚至还有三本和大专的,这是为什么呢?其实国家早就十分重视交通专业了,交通工程是位列国家“十一五”发展的课程之一。不过由于中国的制度啊什么什么的原因,大学们竟然都还没有意识到中国交通的落后和需要的长远的发展,导致了中国在交通建设方面还有很大空缺,一个公司招收交通工程的人才竟然都是从大专开始的。再次强调同学们报考志愿可不是选择与自己分数相近的专业就好,交通工程虽然分数需求比各种热门专业稍低。。。但是你会发现,这个专业在中国有春天的气息,它正在觉醒!!以上完全是郁鱼杜撰啊,报考院校是大事,还慎重为好,不能太相信郁鱼的只言片语,但是希望能对你有帮助(真心的),有的专业也挺好啊,例如什么什么的小语种,也是二本分数线,人家大一就有老板来跟她签合同了,把我们学交通的羡慕不得 呵呵最后送你两首诗,我很喜欢啊走着走着, 就散了, 回忆都淡了;看着看着, 就累了, 星光也暗了; 听着听着, 就醒了, 开始埋怨了;回头发现, 你不见了, 突然我乱了。 我的世界太过安静, 静得可以听见自己心跳的声音。 AB 心房的血液慢慢流回心室, 如此这般的轮回。 聪明的人,喜欢猜心 ,也许猜对了别人的心 ,却也失去了自己的 。傻气的人,喜欢给心 ,也许会被人 ,却未必能得到别人的 。 你以为我刀枪不入, 我以为你百毒不侵。

你的城市轨道交通工程技术论文准备往什么方向写,选题老师审核通过了没,有没有列个大纲让老师看一下写作方向? 老师有没有和你说论文往哪个方向写比较好?写论文之前,一定要写个大纲,这样老师,好确定了框架,避免以后论文修改过程中出现大改的情况!!学校的格式要求、写作规范要注意,否则很可能发回来重新改,你要还有什么不明白或不懂可以问我,希望你能够顺利毕业,迈向新的人生。正文部分是论文的核心,是体现研究工作成果和学术水平的主要部分。国家标准GB7713-87对科技论文正文部分的编写格式没有明确要求和规定。科技论文的结构形式取决于科研成果的内容。不同的科研成果,需要用不同结构形式的科技论文来反映。因为不同学科领域的科研成果,在研究方法、实验观察过程、逻辑推理、结果表现形式等方面不同。 选择参考文献技巧所引用文献应是与论文主题密切相关的、最主要的文献。反映论文研究的基础和科学依据,反映作者尊重他人研究成果,严谨的科学态度。因为编辑在初审时对文稿的参考文献进行的分析,是决定论文取舍的因素,因此,掌握选择参考文献技巧是必要的。选择参考文献应考虑引用量、语种、出版时间、来源和著者等5个方面。 附录与注释设立附录材料的原因包括:为论文占有材料的完整性,但在正文中有损条理性和逻辑性;材料过长;对专家有用而对一般读者可有可无材料、不可多得珍贵、罕见材料等。 审稿是论文发表所必须经历的过程,是由科技论文的特点决定的,科技论文是经同行评价后,才被接受的原始科学出版物。审稿即接受同行评价,主要评价论文在创新性和科学性方面是否具有发表价值。不同国家、不同出版物审稿制度不同,但国内学术期刊采用的审稿制度一般是“三审一定制”,即:编辑初审、专家评审、终审和审定。有的作者不列参考文献。有的作者认为,参考文献列得多,表示知识面宽,所以把自己见过的文献统统列出,其中一些连作者自己都可能已感到浪费了时间和精力。有的作者写作过程中没有记录参考文献的名称、出处,查补工作量大,抄录一些同类书目了事。有的参考文献过于简单,往往列上一两个同行皆知的大部头书名。有的作者列出的参考文献,而审稿人明知作者无法获取该参考文献,所以拒绝评审。决定科技期刊论文采用、退修或退稿的因素较多,主要包括:论文的学术水平,即新颖性、创造性、理论性等,学术水平决定于作者的选题、研究深度、信息掌握情况等方面。写作水平与写作经验。体现在对科技论文的理解、论文各要素的写作、文句、思路与结构、逻辑性等方面。写作态度和投稿研究。

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交通工程文献综述怎么写

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就是前言(你为什么写这篇文章)、正文(你写论文所找的资料,用你资料中的原话摘抄下来就可以了,或者国内、国外的研究情况,你为什么要研究这个课题。)、结论!!!

文献综述格式及写作技巧  文献综述是在对文献进行阅读、选择、比较、分类、分析和综合的基础上,研究者用自己的语言对某一问题的研究状况进行综合叙述的情报研究成果。文献的搜集、整理、分析都为文献综述的撰写奠定了基础。文献综述是研究者在其提前阅读过某一主题的文献后,经过理解、整理、融会贯通,综合分析和评价而组成的一种不同于研究论文的文体。综述的目的是反映某一课题的新水平、新动态、新技术和新发现。从其历史到现状,存在问题以及发展趋势等,都要进行全面的介绍和评论。在此基础上提出自己的见解,预测技术的发展趋势,为选题和开题奠定良好的基础。  文献综述格式一般包括:  文献综述的引言:  包括撰写文献综述的原因、意义、文献的范围、正文的标题及基本内容提要;  文献综述的正文:  是文献综述的主要内容,包括某一课题研究的历史 (寻求研究问题的发展历程)、现状、基本内容 (寻求认识的进步), 研究方法的分析(寻求研究方法的借鉴),已解决的问题和尚存的问题,重点、详尽地阐述对当前的影响及发展趋势,这样不但可以使研究者确定研究方向,而且便于他人了解该课题研究的起点和切入点,是在他人研究的基础上有所创新;文献综述中要说明自己研究方向的发展历史,前人的主要研究成果,存在的问题及发展趋势等,要有自己的观点和见解。鼓励研究生多发现问题、多提出问题、并指出分析、解决问题的可能途径。  文献综述的结论:  文献研究的结论,概括指出自己对该课题的研究意见,存在的不同意见和有待解决的问题等;  文献综述的附录:  列出参考文献,说明文献综述所依据的资料,增加综述的可信度,便于读者进一步检索。  一、文献综述不应是对已有文献的重复、罗列和一般性介绍,而应是对以往研究的优点、不足和贡献的批判性分析与评论。因此,文献综述应包括综合提炼和分析评论双重含义。  二、文献综述要文字简洁,尽量避免大量引用原文,要用自己的语言把作者的观点说清楚,从原始文献中得出一般性结论。  三、文献综述不是资料库,要紧紧围绕课题研究的“问题”,确保所述的已有研究成果与本课题研究直接相关,其内容是围绕课题紧密组织在一起,既能系统全面地反映研究对象的历史、现状和趋势,又能反映研究内容的各个方面。  四、文献综述的综述要全面、准确、客观,用于评论的观点、论据最好来自一次文献,尽量避免使用别人对原始文献的解释或综述。  注意事项  ⒈ 搜集文献应尽量全。掌握全面、大量的文献资料是写好综述的前提,否则,随便搜集一点资料就动手撰写是不可能写出好的综述。  ⒉ 注意引用文献的代表性、可靠性和科学性。在搜集到的文献中可能出现观点雷同,有的文献在可靠性及科学性方面存在着差异,因此在引用文献时应注意选用代表性、可靠性和科学性较好的文献。  ⒊ 引用文献要忠实文献内容。由于文献综述有作者自己的评论分析,因此在撰写时应分清作者的观点和文献的内容,不能篡改文献的内容。  ⒋ 参考文献不能省略。有的科研论文可以将参考文献省略,但文献综述绝对不能省略,而且应是文中引用过的,能反映主题全貌的并且是作者直接阅读过的文献资料。

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关键词翻译成英文,在ScienceDirect外文全文数据库SDOL等试下

这些都是名字的缩写,学位的缩写只有PhD,MD,BD啊,英文文献好像是不标学位的给你几个示范一下,都是根据国标写的。 作者 文章名 刊物类型 刊物 年度,期卷号:页码范围 [ ] Nikolaev Yu A, Gas Detonation and its Application in Engineering and Technologies[J] Combustion, Explosion, and Shock Waves, 2003, 39(4): 382-410 [ ] LCYang, P H D Key Parameters for Controlling of Function Reliability in “None1 Tube” Explosive Transfer System[C], 1999: AIAA99-31211 [ ] Peng Jinhua, Tang M One of the Applications of Dust Explosions – Nonel System[J] Archivum Combustionis, 1989(9): 223-229 [ ] Liu Dabin, Jiang Rongguang, Yang D The Pressure Characteristics of Nonel Tube in Its Detonation Growth Process[J/OL]: 93-96

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持续性交际法对商务英语学习者口语和能力提高的研究分析商务英语中模糊语言的应用及其语用分析从功能对等角度看商务英语翻译基于学生需求分析的商务英语专业英语课程设置研究英语商务付款信函中言语行为的语用策略研究合作学习理论在商务英语谈判课堂中的应用研究商务英语对话中的会话含义研究基于体裁分析的教学法在商务英语信函作教学中的应用中职校电子商务专业英语课程模式的调查研究商务英语教学中跨文化交际能力的培养成人商务英语教学中学生自主学习能力的培养商务英语作中介语错误分析的研究功能对等理论视角下的商务英语翻译商务英语网络课件的评估:TMM个案研究商务英语中复合形容词的研究图式理论在商务英语口译中的应用英语商务谈判中模糊语的顺应论阐释语域理论与英语商务合同汉译关联理论在商务英语阅读教学中的应用商务谈判英语的人际意义研究基于体裁的商务英语阅读教学研究英语商务报告的语体分析商务英语阅读策略和词汇策略相关性研究教师反馈对提高商务英语作准确性作用的研究功能加忠诚模式对商务英语翻译的启示商务英语信函的词汇特点研究商务英语词汇的一词多义现象研究剑桥商务英语证书考试中句子填空的衔接分析论任务型教学法在商务英语作教学中的运用商务英语报忧类信函的人际意义研究商务英语电子邮件的体裁特征研究商务英语信函翻译的语用充实策略任务型语言教学在中等职业学校商务英语中的应用研究跨文化情境下商务英语口译研究基于文化图式理论下的商务英语翻译教学研究迁移理论在大学商务英语口语中的应用研究商务英语中带连字符复合形容词的认知研究关联顺应模式下的商务英语翻译

本科毕业设计(论文)  文献综述  院 (系):  专 业:  班 级:  学生姓名: 学 号:  年 月 日  本科生毕业设计(论文)文献综述评价表  毕业设计(论文)题目  综述名称 注意综述名称(综述内容中不要出现本课题怎么样等等)  评阅教师姓名 职称  评 价 项 目 优 良 合格 不合格  综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范  综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果  03 文字通顺、精练、可读性和实用性强  04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等  参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求,格式符合规范  06 围绕所选毕业设计(论文)题目搜集文献  成绩  综合评语:  评阅教师(签字):  年 月 日  文献综述: 小四号宋  空一行  标题 二号黑居中  空一行  1 XXX 三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXXX 小三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXX 四号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  空一行  2 XXXX 三号黑  (空1行)  参 考 文 献  (空1行)  [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写,例如:]  [1] 袁庆龙,候文义.Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究[J].太原理工大学学报,2001,32(1):51-53 .(宋体五号,行距固定值20磅)  [2] 刘国钧,王连成.图书馆史研究[M].北京:高等教育出版社,1979:15-18,31.  下面的是我的文献综述  文献综述:  FTO透明导电薄膜的溅射法制备  1 前言  为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作,在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料,完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟,导电玻璃的制备方法也越来越成熟,种类也衍生得越来越多。  本文章将对国内外的制备方法,种类,发展现状及趋势,工艺性能,退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。  2透明导电玻璃的种类及制备方法简介  1透明导电玻璃的种类  1 1 TCO导电玻璃  TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。  2 ITO透明导电玻璃  ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。  3FTO透明导电玻璃  FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太阳能电池基底等方面,市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其综合性能常用直属FTC来评价:FTC=T10/RS。T是薄膜的透光率,RS是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是:①表面方阻低,②透光率高,③面积大、重量轻,④易加工、耐冲击。  2FTO透明导电玻璃制备方法  FTO透明导电玻璃的制备方法有,物理方法:溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等;化学方法:喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法![1]化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够,溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺,只有磁控溅射法和溶胶-凝胶法。特别是,溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。  1磁控溅射法镀膜:  溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面,使靶材的原子被轰击出来,溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。  目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。  2真空蒸发镀膜:  真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa,用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言,其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径:(1)直接蒸发氧化物;(2)采用反应蒸发镀,即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物;(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。  3溶胶-凝胶法:  溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化,再将凝胶低温处理变为氧化物的方法,是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中,以均匀速度将其提拉出来,在含有水分的空气中发生水解和聚合反应,最后通过热处理形成所需薄膜;而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。  4化学气相沉积法:  化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面,是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。  化学气相沉积技术的主要特点包括:设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强;适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜:由于设备简单,薄膜制备的成本也比较低。但是,薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。  5喷雾热分解法:  喷雾热分解法是化学法成膜的一种,其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化,然后输送到基片表面,在高温作用下,前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应,在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有:压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气,所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应,基片温度一般在300℃以上,在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有:载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等[2]。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制[3]。  3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势  1FTO透明导电玻璃的研究现状  自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜,引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高,化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜,ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系,其中以In203:Sn(ITO),SnO2 :F(FTO)和ZnO:Al(ZAO)最具代表性,这些薄膜具有高载流子浓度(1018~1021cm-3)和低电阻率(10-3~1O-4Ω•cm),且可见光透射率8O%~90%,使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。[4] 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2:F(FTO)2类,ITO由于其透明性好,电阻率低,易刻蚀和易低温制备等优点,一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好,生产设备简单,生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中,具有很大的优势[5]。  Sn02:F(FTO)掺杂体系是一种n型半导体材料,表现出优良的电学和光学性能,并且耐腐蚀,耐高温,成本低,化学稳定性好,是现在研究较多,应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等[6]采用喷雾热解法,以NH4F、SnCl2•2H20为原料,在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口,可见光透光率为95%的FTO薄膜,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。Yadav等[7]采用喷雾热解法,制备了不同厚度的FTO薄膜,最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等[8]采用喷雾热解法,制备了不同掺F浓度的FTO薄膜,研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学,结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组[9、10]将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极,并获得较高的光电转换效率。  射频溅射:  射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13.56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是,从阴极发出的电子,经过电场的加速后获得足够的能量,可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面,溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚,最终成膜。  直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备,因为绝缘材料在受到正离子轰击时,靶材表面的正离子无法中和,使靶表面的电位逐渐升高,导致阴极靶与阳极问的电场减小,当靶表面电位上升到一定程度时,可以使气体无法电离,溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合,电极和靶材并不需要是导体,射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压,当溅射处于上半周时,由于电子的质量比离子的质量小很多,故其迁移率很高,用很短时间就可以飞向靶面,中和其表面积累的正电荷,从而实现对绝缘材料的溅射,并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子,使其表面因空间电荷而呈现负电位,导致在射频溅射正半周期,也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期,均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面,可以提高溅射速度。[11]  用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2:F薄膜,系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中,控制真空室内氩气压强为1Pa,氧分压为5—5 Pa,靶与衬底间的距离为5cm.溅射功率为150W,溅射时间为25 min,衬底温度为100℃。用RIGAKU D/MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长,154178 nm)测试样品的结构,用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌,使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱,使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱,使用普通的万电表测试它的导电性(前提是尽量保持测量条件的一致性)。  2FTO透明导电玻璃的应用  FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能,被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等,与生活息息相关。  1在薄膜太阳电池上的应用  太阳能电池是利用光伏效应,在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一,可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells,DSCS)[12]等的透明电极,对它的要求是:具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□);高阳光辐射透过率,即吸收率与反射率要尽可能低;化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中,透明导电膜充当电极,具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。  2在显示器上的应用  显示器件能将外界事物的光、声、电等信息,经过变换处理,以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中,薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,引起广泛关注,并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性,因此被广泛用作平板显示器的透明电极。  3在气敏元件上的应用  气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点,更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展,传感器不断向智能化、微型化方向发展。[13]  4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用  喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃,对可见光高透射,但对红外光高反射,其反射率大于70%。让阳光中可见光部分透过,而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的,但可将红外部分的热能辐射反射回去,能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性,可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。  3 FTO透明导电玻璃的发展趋势  随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高,人们对透明导电氧化物(TCO)薄膜的要求越来越严格,至少需要满足如下条件:  (1)导电性能好,电阻率较低;  (2)可见光内透光率较高:  (3)镀膜温度更接近室温,能大面积均匀地镀膜;  (4)膜层加工性能好,可以进行高精度低损伤腐蚀;  (5)热稳定性及耐酸、碱性优良,硬度高;  (6)表面形状良好,没有针孔;  (7)价格较低,可实现大规模工业化生产。  目前,TCO薄膜已普遍达到下列水平:膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级,在可见光区透光率达80%,载流子迁移率一般达到40cm2/(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要,但随着器件性能的不断提升,对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标:禁带宽度>3 eV,直流电阻率~5×10-5 Ω•cm,可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1,载流子迁移率>100 cm2/(v•s)。  几十年来,人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2:F(TFO)透明导电薄膜由于其兼备低电阻,高的可见光透过率,近红外高的反射率,优良的膜强度和化学稳定性等优点,越来越受到人们的青睐,必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单,操作方便,利于控制。成本较低,原料易得,但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟,这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。  4 制备条件对膜结构及光电性能的影响  长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验,发表了文献[14],并在文献14中得出了1——3的结论。  1制备条件对膜厚的影响  文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时,薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm,即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm/min左右,为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长,及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。  2制备条件对膜结构的影响  晶体质量随溅射功率的增大而降低,随溅射气压的增大而降低。  3制备条件对膜光电性质的影响  在固定溅射总气压的条件下,增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度,增大薄膜的载流子浓度。  4 退火对薄膜的影响  退火能显著提高薄膜晶体质量,并增强薄膜的PL发光强度和导电能力,其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。[15]  5 退火后处理对膜结构与成分的影响  光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关,退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化,有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流,对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。[16]分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析,发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ,而惰性气氛退火薄膜表面较为致密,结构分析不仅观察到金红石结构的 ,还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明,氧化性气氛退火后,薄膜成分单一,未氧化的 完全氧化成稳定的 ,而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言,惰性气氛退火后,薄膜表面 、 和 共存,表面化学吸附氧和吸附水较明显,薄膜的稳定性降低。[17]  6 FTO导电玻璃制备相关参数  根据范志新等所提出的理论表达式: 带入相关数据可得到,SnO2:F(FTO)的最佳掺杂含量为54%[18]通过对比总结,参考大量数据,选择溅射功率:100W,溅射压力:5Pa,溅射时间:5h,溅射靶距:38mm[13、19]做产品。进行相关参数的选择与优化。  7 参考文献  1、张志海, 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学  2、汪振东, 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>:F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学  3、郝喜红, 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学  4、张明福等, 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光  5、方俊 杨万莉, n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷  6、苗莉等, SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报  7、Yadav A A,Masumdar E U,Moholkar A V,et a1.Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J].Physiea B:Condensed Matter,2009,404(12—13):1874 - 1877.  8、Moholkar A V,Pawar S M,Rajpure K Y,et a1.Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J].Applied Surface Science,2009,255(23):9358—9364.  9、Dai S,Wang K,Weng J,et a1.Design of DSC panel with efficiency more than 6%[J1.Solar Energy Materials and Solar Ceils,2005,85(3):447—455.  10、Huo Z,Dai S,Wang K,et a1.Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-/I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J].Solar Energy Materials and Solar Cells,2007,91(20):1959-1965.  11、王璟和,射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学  12、姜磊等, 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报(自然科学版)  13、曾志峰等, 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报(理学版)  14、段理、樊小勇等, 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇)  15、SunLL,TanO K,ZhuW G,et a1.Pb(Zro 3Ti0. 7)03/Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J].J Appl Phys,2006,99(9):09410  16、顾锦华、钟志有等, 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版)  17、王磊、杜军等, 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报  18、范志新等, 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件  19、刘庆业等, 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报(自然科学版)

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