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全国两家专门搞真空技术的学校——东北大学和合肥工业大学真空专业的书都是学校自己印的讲义。国内高校讲真空技术比较权威的是国防工业出版社的《真空设计手册》达道安版以及化学工业出版社的《真空工程技术》徐连海主编。讲的比较齐,但是版本比较老了,有些新的技术跟不上去。国内类似《真空》和《真空科学技术学报》等杂志一般十有八九都是介绍真空镀膜技术的,真空泵比较少。有一本王常继的老书《真空系统设计》不错,这里有PDF,你看一看

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