激光加工文献

看看这篇文章也许对你有些帮助。《激光微细加工中微小曝光区温度测量系统的改进》The Improvement of the Temperature Measurement System for the Small Exposed Region in Laser Assisted Microprocessing<<计量与测试技术 >>2003年04期谢兴盛 , 吴云峰 , 叶玉堂 , 杨先明 , 秦宇伟 在半导体的激光微细加工技术里,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量文献[6]报道的温度测量系统基本满足这一要求,但在实际使用过程中还存在一些需要克服的困难首先是温度分辨率和温度测量范围不能同时满足使用要求,其次是不能进行温度分布的准确测量和最高温度点的准确定位本文提出了对原有系统的改进方法,改进后的计算机温度测量系统较好的解决了原系统存在的这些问题 关键词： 半导体 , 激光微细加工 , 温度测量 , 计算机控制 还有微小激光加工区温度测量的准确性研究 Temperature Measurement Precision for Small Laser-processed Region [半导体光电 Semiconductor Optoelectronics] 赵爱英 , 叶玉堂 , 吴云峰 , 王昱琳 , 张雪琴 , 范超 , 焦世龙 , ZHAO Ai-ying , YE Yu-tang , WU Yun-feng , WANG Yu-lin , ZHANG Xue-qin , FAN Chao , JIAO Shi-long 微小激光曝光区域温度分布均匀化整形方法 Temperature uniformity of the laser exposed area [光电工程 Opto-Electronic Engineering] 王华明 , 叶玉堂 , 吴云峰 , 刘霖 , 方亮 , 刘学智 , WANG Hua-ming , YE Yu-tang , WU Yun-feng , LIU Lin , FANG Liang , LIU Xue-zhi 激光二极管点火瞬时温度的测量 The measurement of the transient temperature induced by laser diode [激光杂志 Laser Journal] 蒋明 , 龙新平 , 严楠 , JIANG Ming , LONG Xin-ping , YAN Nan

这个我有的，激光加工表面的微结构有示意图的，还有显微镜下的图激光表面处理的还有激光融覆激光切割网