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核聚变与等离子体物理 （核心类的）Annual Report for China Institute of Atomic Energy核标准计量与质量核动力工程核科学与工程核安全核电子学与探测技术原子能科学技术中国核科技报告中国核电中国原子能详情可以咨询文发网 同时提供发表服务
物理学报、物理学进展、高压物理学报、工程热物理学报、计算物理、原子核物理评论、原子能科学技术、中国科学（物理学, 力学, 天文学）、 光学学报 中国激光 发光学报 光子学报 声学学报 原子与分子物理学报 光谱学与光谱分析 量子电子学报 量子光学学报 物理 低温物理学报 计算物理 核聚变与等离子体物理 大学物理 波谱学杂志 光散射学报
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物理学报、物理学进展、高压物理学报、工程热物理学报、计算物理、原子核物理评论、原子能科学技术、中国科学（物理学, 力学, 天文学）、 光学学报。中国激光，发光学报，光子学报。声学学报，原子与分子物理学报，光谱学与光谱分析，量子电子学报，量子光学学报，物理，低温物理学报，计算物理，核聚变与等离子体物理，大学物理，波谱学杂志，光散射学报。物理学是研究物质运动最一般规律和物质基本结构的学科。作为自然科学的带头学科，物理学研究大至宇宙，小至基本粒子等一切物质最基本的运动形式和规律，因此成为其他各自然科学学科的研究基础。它的理论结构充分地运用数学作为自己的工作语言，以实验作为检验理论正确性的唯一标准，它是当今最精密的一门自然科学学科。
第27卷第2期文献标识码:A 文章编号:1000-3738(2003)02-0031-03 Preparation and Properties of Hardened Surface Layers Pa,通人氮气后,通过射频放电使氮气电离成等离 子体,这时在工件上加上相对于真空室壁(零电位) 为--60kV的负脉冲 氮气光谱的计算模拟及其在放电等离子体诊断中的应用制备氮化物时也采用放电方法来产生氮离子因此各种放电方法如微波放电射频放 电直流辉光放电空心阴极放电快脉冲放电和弧光氮气脉冲放电光谱 参考文献 [1] F A Ponce & D P Bour, Nature 386,351 (1997) [2] 过增元赵文华 -tsung/paper/14%B5%AA%C6%F8%B9%E2%C6%D7%B5%C4%BC%C6%CB%E3%C4%A3%C4%E2%BC%B0%C6%E4%D4%DA%B7%C5%B5%E7%B5%C8%C0%EB%D7%D3%CC%E5%D5%EF%B6%CF%D6%D0%B5%C4%D3%A6%D3%Cpdf材料科学与工程学报放电和射频(RF)辉光放电Pill,金属钦和钦加氮气的Pill以硬度为560HV样品经研磨抛光至Ra -< 04tm,然后在文献〔13]的 实验结果表明,在1570cm-'附近有宽缝的Raman光谱代表 了10%左右的sp3sp键含量discharge RF glow discharge Ti+NinnTiC thin filmDLC thin film implanted PIIIDby PIIID 3030300500 3030 500 Nitrogen Ion Implantation for the Surface Modification of 9Cr18 Steel[ J ]N I Meth: ~kjqk/clkxygc/clkx2005/0502pdf/pdf
【作者中文名】 孙素珍; 张宏; 亚艳芝; 王会娟; 【文献出处】 承钢技术, , 编辑部邮箱 2006年 01期 期刊荣誉：CJFD收录刊 【关键词】 辉光放电光谱仪; 直流（d．c）偏流; 射频（r．）等离子; 增强系数; 激发能; 铜; 【摘要】 把直流偏流引入到辉光放射粒子中,可增大发射谱线强度。20-30mA的偏流电流通常可使拥有3-4ev激发能的原子谱线发射强度增加11-20倍。增强系数很大程度上取决于等离子气体压力和射频功率。具有大约7ev激发能的原子发射谱线强度提高很多,增强系数超过50。然而与等离子条件无关,当激发能超过7ev时,发射谱线强度增加很小。 【DOI】 CNKI:SUN:CHGJ2006-01-015 Electrical characteristic simulation of double-faced glow discharge plasma reactor system 【作者中文名】 安治永; 李应红; 宋慧敏; 【作者英文名】 AN Zhi-yong; LI Ying-hong; SONG Hui-min（Engineering Institute; Air Force Engineering University; Xi’an 710038）; 【作者单位】 空军工程大学工程学院; 空军工程大学工程学院 西安; 【文献出处】 核聚变与等离子体物理, Nuclear Fusion and Plasma Physics, 编辑部邮箱 2007年 04期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 【关键词】 等离子体; 流动控制; 电特性; 仿真; 【英文关键词】 Atmospheric plasma; Flow control; Electrical characteristics; Simulation; 【摘要】 用Matlab软件对大气压均匀辉光放电等离子体(OAUGDP)激励器系统的电特性进行了仿真。在仿真模型中,等离子体放电被建模成一个电压控制的电流源:当加在气隙上的电压超过等离子体产生电压时,该受控电流源接通;电流源的输出电流和所加电压之间遵循幂律。建立了一个OAUGDP激励器系统中等离子体放电的电路模型。仿真结果与实际激励器系统的实验数据很吻合。仿真结果表明,在不同的运行条件下,放电电流与电压之间遵循不同的指数幂律,仿真放电电流波形也不同。 【英文摘要】 Simulation of the electrical characteristics of atmosphere uniform glow discharge plasma(OAUGDP) reactor system has been conducted with the Matlab Plasma discharge is modeled as a voltage-controlled current source: the discharge current outputs and follows a power law of the applied voltage when the voltage across the gap exceeds the plasma initiation Simulation results agree well with experimental It is also found that the voltage power laws to describe OAUGDP are dissimilar for 【DOI】 CNKI:SUN:HJBY2007-04-018 射频激励辉光放电粒子引入偏流、激发放射强度的增强系数 【作者中文名】 孙素珍; 张宏; 亚艳芝; 王会娟; 【文献出处】 承钢技术, , 编辑部邮箱 2006年 01期 期刊荣誉：CJFD收录刊 【关键词】 辉光放电光谱仪; 直流（d．c）偏流; 射频（r．）等离子; 增强系数; 激发能; 铜; 【摘要】 把直流偏流引入到辉光放射粒子中,可增大发射谱线强度。20-30mA的偏流电流通常可使拥有3-4ev激发能的原子谱线发射强度增加11-20倍。增强系数很大程度上取决于等离子气体压力和射频功率。具有大约7ev激发能的原子发射谱线强度提高很多,增强系数超过50。然而与等离子条件无关,当激发能超过7ev时,发射谱线强度增加很小。 【DOI】 CNKI:SUN:CHGJ2006-01-015 射频辉光放电过程中工艺参数对极板自负偏压的影响 【英文篇名】 Effect of R F Discharhe Parameters on the Substrate Bias 【作者中文名】 程宇航; 吴一平; 许德胜; 陈建国; 乔学亮; 谢长生; 【作者英文名】 Cheng Yuhang Wu Yiping Xu Desheng Chen Jianguo Qiao Xueliang Xie Changsheng （Huazhong University of Science and Technology 430074 China）; 【作者单位】 华中理工大学材料学院; 【文献出处】 电工技术学报, TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY, 编辑部邮箱 1999年 05期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 【关键词】 射频辉光放电; 极板自负偏压; 工艺参数; 【英文关键词】 R f discharge Substrate bias Discharge parameter; 【摘要】 系统研究了射频等离子辉光放电过程中工艺参数对极板自负偏压的影响， 结果表明射频辉光放电过程中下极板上产生的自直流负偏压V 与电源功率W 和工作压强P 的关系为V＝k W／ P。极板负偏压随极板间距的增加而增大。不同放电气体对极板自负偏压产生不同的影响，这与各种气体本身的放电特性有关 【英文摘要】 The effect of radio frequency (r f )discharge parameters on the substrate bias was systematically studied Results show that the substrate bias V is related to the r f power W and gas pressure P by V=kW/P The increase of distance between two electrode leads to the increase of substrate bias Substrate bias is greatly affected by the discharge characteristics of different gases 【基金】 华中理工大学模具技术国家重点实验室和激光技术国家重点实验室联合资助 【DOI】 cnki:ISSN:1000-1999-05-014 二极射频辉光放电获取表面信息的机理与特性研究 【英文篇名】 Investigation on Getting Messages from Surface by Means of RF Diode Glow Discharge 【作者中文名】 唐政清; 丁力; 【作者英文名】 Tang Zhengqing Ding Li （Departement of Electronic Engineering）; 【作者单位】 东南大学电子工程系; 【文献出处】 东南大学学报(自然科学版), Journal of Southeast University(Natural Science Edition), 编辑部邮箱 1989年 02期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 【关键词】 质谱; 离子源; 辉光放电; 等离子体探针诊断; 【英文关键词】 mass spectra; ion sources; glow dischange; plasma diagnostics; 【摘要】 本文对射频辉光放电离子源用后电离方式产生中性粒子信号的机理进行了研究。介绍了放电等离子体的探针诊断与引出离子流的能量分析实验。得出了离子能量分布的中心在20～25eV适于用四极质谱分析的结论。 【英文摘要】 This paper studies the mechanism of generating the sputtered neutral signal by using post ionization process in RF glow discharge ion The experiment on probe detection of discharge plasma and the energy analysis of extracted ions are It is identified that the energy distribution centre is about 20-25 eV and suits the quadrupole mass 【DOI】 cnki:ISSN:1001-1989-02-005
国家级和核心是不同的等级吧，像现代物理，应用物理就是核心
国家级和核心是不同的等级吧，像现代物理，应用物理就是核心
14氮气光谱的计算模拟及其在放电等离子体诊断中的应用 制备氮化物时也采用放电方法来产生氮离子因此各种放电方法如微波放电射频放 电直流辉光放电空心阴极放电快脉冲放电和弧光氮气脉冲放电光谱 参考文献 [1] F A Ponce & D P Bour, Nature 386,351 (1997) [2] 过增元赵文华 -tsung/paper/14%B5%AA%C6%F8%B9%E2%C6%D7%B5%C4%BC%C6%CB%E3%C4%A3%C4%E2%BC%B0%C6%E4%D4%DA%B7%C5%B5%E7%B5%C8%C0%EB%D7%D3%CC%E5%D5%EF%B6%CF%D6%D0%B5%C4%D3%A6%D3%Cpdf
国外的有 Nature 和 Science
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第27卷第2期文献标识码:A 文章编号:1000-3738(2003)02-0031-03 Preparation and Properties of Hardened Surface Layers Pa,通人氮气后,通过射频放电使氮气电离成等离 子体,这时在工件上加上相对于真空室壁(零电位) 为--60kV的负脉冲 氮气光谱的计算模拟及其在放电等离子体诊断中的应用制备氮化物时也采用放电方法来产生氮离子因此各种放电方法如微波放电射频放 电直流辉光放电空心阴极放电快脉冲放电和弧光氮气脉冲放电光谱 参考文献 [1] F A Ponce & D P Bour, Nature 386,351 (1997) [2] 过增元赵文华 -tsung/paper/14%B5%AA%C6%F8%B9%E2%C6%D7%B5%C4%BC%C6%CB%E3%C4%A3%C4%E2%BC%B0%C6%E4%D4%DA%B7%C5%B5%E7%B5%C8%C0%EB%D7%D3%CC%E5%D5%EF%B6%CF%D6%D0%B5%C4%D3%A6%D3%Cpdf材料科学与工程学报放电和射频(RF)辉光放电Pill,金属钦和钦加氮气的Pill以硬度为560HV样品经研磨抛光至Ra -< 04tm,然后在文献〔13]的 实验结果表明,在1570cm-'附近有宽缝的Raman光谱代表 了10%左右的sp3sp键含量discharge RF glow discharge Ti+NinnTiC thin filmDLC thin film implanted PIIIDby PIIID 3030300500 3030 500 Nitrogen Ion Implantation for the Surface Modification of 9Cr18 Steel[ J ]N I Meth: ~kjqk/clkxygc/clkx2005/0502pdf/pdf
14氮气光谱的计算模拟及其在放电等离子体诊断中的应用 制备氮化物时也采用放电方法来产生氮离子因此各种放电方法如微波放电射频放 电直流辉光放电空心阴极放电快脉冲放电和弧光氮气脉冲放电光谱 参考文献 [1] F A Ponce & D P Bour, Nature 386,351 (1997) [2] 过增元赵文华 -tsung/paper/14%B5%AA%C6%F8%B9%E2%C6%D7%B5%C4%BC%C6%CB%E3%C4%A3%C4%E2%BC%B0%C6%E4%D4%DA%B7%C5%B5%E7%B5%C8%C0%EB%D7%D3%CC%E5%D5%EF%B6%CF%D6%D0%B5%C4%D3%A6%D3%Cpdf
【作者中文名】 孙素珍; 张宏; 亚艳芝; 王会娟; 【文献出处】 承钢技术, , 编辑部邮箱 2006年 01期 期刊荣誉：CJFD收录刊 【关键词】 辉光放电光谱仪; 直流（d．c）偏流; 射频（r．）等离子; 增强系数; 激发能; 铜; 【摘要】 把直流偏流引入到辉光放射粒子中,可增大发射谱线强度。20-30mA的偏流电流通常可使拥有3-4ev激发能的原子谱线发射强度增加11-20倍。增强系数很大程度上取决于等离子气体压力和射频功率。具有大约7ev激发能的原子发射谱线强度提高很多,增强系数超过50。然而与等离子条件无关,当激发能超过7ev时,发射谱线强度增加很小。 【DOI】 CNKI:SUN:CHGJ2006-01-015 Electrical characteristic simulation of double-faced glow discharge plasma reactor system 【作者中文名】 安治永; 李应红; 宋慧敏; 【作者英文名】 AN Zhi-yong; LI Ying-hong; SONG Hui-min（Engineering Institute; Air Force Engineering University; Xi’an 710038）; 【作者单位】 空军工程大学工程学院; 空军工程大学工程学院 西安; 【文献出处】 核聚变与等离子体物理, Nuclear Fusion and Plasma Physics, 编辑部邮箱 2007年 04期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 【关键词】 等离子体; 流动控制; 电特性; 仿真; 【英文关键词】 Atmospheric plasma; Flow control; Electrical characteristics; Simulation; 【摘要】 用Matlab软件对大气压均匀辉光放电等离子体(OAUGDP)激励器系统的电特性进行了仿真。在仿真模型中,等离子体放电被建模成一个电压控制的电流源:当加在气隙上的电压超过等离子体产生电压时,该受控电流源接通;电流源的输出电流和所加电压之间遵循幂律。建立了一个OAUGDP激励器系统中等离子体放电的电路模型。仿真结果与实际激励器系统的实验数据很吻合。仿真结果表明,在不同的运行条件下,放电电流与电压之间遵循不同的指数幂律,仿真放电电流波形也不同。 【英文摘要】 Simulation of the electrical characteristics of atmosphere uniform glow discharge plasma(OAUGDP) reactor system has been conducted with the Matlab Plasma discharge is modeled as a voltage-controlled current source: the discharge current outputs and follows a power law of the applied voltage when the voltage across the gap exceeds the plasma initiation Simulation results agree well with experimental It is also found that the voltage power laws to describe OAUGDP are dissimilar for 【DOI】 CNKI:SUN:HJBY2007-04-018 射频激励辉光放电粒子引入偏流、激发放射强度的增强系数 【作者中文名】 孙素珍; 张宏; 亚艳芝; 王会娟; 【文献出处】 承钢技术, , 编辑部邮箱 2006年 01期 期刊荣誉：CJFD收录刊 【关键词】 辉光放电光谱仪; 直流（d．c）偏流; 射频（r．）等离子; 增强系数; 激发能; 铜; 【摘要】 把直流偏流引入到辉光放射粒子中,可增大发射谱线强度。20-30mA的偏流电流通常可使拥有3-4ev激发能的原子谱线发射强度增加11-20倍。增强系数很大程度上取决于等离子气体压力和射频功率。具有大约7ev激发能的原子发射谱线强度提高很多,增强系数超过50。然而与等离子条件无关,当激发能超过7ev时,发射谱线强度增加很小。 【DOI】 CNKI:SUN:CHGJ2006-01-015 射频辉光放电过程中工艺参数对极板自负偏压的影响 【英文篇名】 Effect of R F Discharhe Parameters on the Substrate Bias 【作者中文名】 程宇航; 吴一平; 许德胜; 陈建国; 乔学亮; 谢长生; 【作者英文名】 Cheng Yuhang Wu Yiping Xu Desheng Chen Jianguo Qiao Xueliang Xie Changsheng （Huazhong University of Science and Technology 430074 China）; 【作者单位】 华中理工大学材料学院; 【文献出处】 电工技术学报, TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY, 编辑部邮箱 1999年 05期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 【关键词】 射频辉光放电; 极板自负偏压; 工艺参数; 【英文关键词】 R f discharge Substrate bias Discharge parameter; 【摘要】 系统研究了射频等离子辉光放电过程中工艺参数对极板自负偏压的影响， 结果表明射频辉光放电过程中下极板上产生的自直流负偏压V 与电源功率W 和工作压强P 的关系为V＝k W／ P。极板负偏压随极板间距的增加而增大。不同放电气体对极板自负偏压产生不同的影响，这与各种气体本身的放电特性有关 【英文摘要】 The effect of radio frequency (r f )discharge parameters on the substrate bias was systematically studied Results show that the substrate bias V is related to the r f power W and gas pressure P by V=kW/P The increase of distance between two electrode leads to the increase of substrate bias Substrate bias is greatly affected by the discharge characteristics of different gases 【基金】 华中理工大学模具技术国家重点实验室和激光技术国家重点实验室联合资助 【DOI】 cnki:ISSN:1000-1999-05-014 二极射频辉光放电获取表面信息的机理与特性研究 【英文篇名】 Investigation on Getting Messages from Surface by Means of RF Diode Glow Discharge 【作者中文名】 唐政清; 丁力; 【作者英文名】 Tang Zhengqing Ding Li （Departement of Electronic Engineering）; 【作者单位】 东南大学电子工程系; 【文献出处】 东南大学学报(自然科学版), Journal of Southeast University(Natural Science Edition), 编辑部邮箱 1989年 02期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 【关键词】 质谱; 离子源; 辉光放电; 等离子体探针诊断; 【英文关键词】 mass spectra; ion sources; glow dischange; plasma diagnostics; 【摘要】 本文对射频辉光放电离子源用后电离方式产生中性粒子信号的机理进行了研究。介绍了放电等离子体的探针诊断与引出离子流的能量分析实验。得出了离子能量分布的中心在20～25eV适于用四极质谱分析的结论。 【英文摘要】 This paper studies the mechanism of generating the sputtered neutral signal by using post ionization process in RF glow discharge ion The experiment on probe detection of discharge plasma and the energy analysis of extracted ions are It is identified that the energy distribution centre is about 20-25 eV and suits the quadrupole mass 【DOI】 cnki:ISSN:1001-1989-02-005